# FMTM-c1
微型芯片产线

`FMTM` 胖蚊高精制造
`FMCB-1` 胖蚊工农车间
微型芯片产线

+ 主要技术: 电子束直写式光刻

+ 支持的晶圆直径: 1 英寸 (25mm), 2 英寸 (50mm)


## 初步设计

主要设备及占地面积: (估计)

### 核心超净区域

位于 `FMCCB-1` 超净区域之内.

(10) 占地面积合计: 7`m2`

+ (占地 1`m2`) FMMS-2 扫描电子显微镜+聚焦离子束 (SEM+FIB)

  高精度检查设备

+ (占地 0.5`m2`) FMMS-1 光学显微镜

  低精度检查设备

+ (占地 1`m2`) 电子束光刻机

+ (占地 0.5`m2`) 晶圆清洗设备

  超纯水漂洗

+ (占地 0.5`m2`) 光刻胶旋涂机

+ (占地 1`m2`) 高温处理设备

  功能包括: 化学气相沉积 (CVD), 热处理 (比如热氧化),
  刻蚀 等

+ (占地 1`m2`) 离子注入设备

+ (占地 0.5`m2`) 化学机械抛光 (CMP)

+ (占地 0.5`m2`) FMRA-1a 蓝灵 遥铠终端

+ (占地 0.5`m2`) FMDP-4a 胖蚊黑蜘蛛移动版

### 外围支持设备

在超净区域之外 (附近).

(10) 占地面积合计: 10`m2`

+ (占地 1`m2`) 空调系统

  超净区域温度控制

+ (占地 1`m2`) 空气净化设备

  超净区域空气提供 (湿度控制)

+ (占地 0.5`m2`) 低温设备: 液氮制造

+ (占地 0.5`m2`) 真空泵: 真空粗抽

+ (占地 1`m2`) 水净化设备: 超纯水制造

+ (占地 2`m2`) 废水/废气 处理设备

  避免直接排放污染环境

+ 主仓库: FMWH-1 胖蚊自动仓库

+ (占地 1`m2`) FMRA-1b 姜寻 遥铠终端

+ (占地 2`m2`) 计算机设备 (机架式服务器)

+ (占地 1`m2`) FMUPS-1 电源及电池

  供电及突然停电保护


## 成本分析

+ 1 英寸 (25mm) 单面抛光晶圆

  淘宝 25 元/片

+ 电子束光刻胶 (PMMA)

  淘宝 2000 元/100ml (瓶)

  预计制造一片晶圆仅消耗几毫升的光刻胶

+ 别的原材料: 高纯度气体, 高纯度液体试剂 等

  和 光刻胶 差不多

如果不考虑设备成本 (设备折旧),
则制造一片 1 英寸晶圆的成本可能只有几百元.

假设制造面积 1`mm2` 的芯片 (100nm CMOS 工艺的晶体管密度可达 100 万个/mm2), 则 1 英寸晶圆约为 300 多个芯片,
每个芯片成本约几元.

这个成本水平约为大规模量产的 10 ~ 100 倍.


TODO
